Class II HE-NE 레이저 기반의 간섭계 레이저 헤드로,
실시간 데이터를 디스플레이하여 직관적인 제품 상태
모니터링이 가능한 제품입니다.
또한 범용 레이저 헤드(HP 社 시리즈)와 완벽한 호환성을 제공하며,
다양한 생산 설비에 적용 시 서버를 통해 데이터 통합 관리가 가능합니다.
• 실시간 POWER & FREQUENCY 확인 가능
• 실시간 LIFE-TIME 확인 가능
• 실시간 LASER HEAD 상태 확인 가능 (STABLE, UNSTABLE)
• 오류 발생 시간 추적 가능
• HP LASER 범용 제품 호환 가능
• MIRRORING 기능 가능
• FDC를 이용한 DATA MONITORING 기능 가능
• 적용 설비 : ASML, NIKON, HITACHI, AMAT
| 적용설비 | POWER | FREQUENCY | BEAM SIZE | |
| PINOVA B | Nikon i11D / AMAT Compass | 500 ㎼ | 1.9~2.4 MHz | 6mm |
| PINOVA C | Nikon SF / i12D / AMAT Compass | 500 ㎼ | 2.4~3.0 MHz | 3, 6, 9mm |
| PINOVA D | Nikon SF / ASML PAS / Cannon MPA5500 | 180 ㎼ | 3.4~4.0 MHz | 6, 9mm |
| PINOVA DL | Nikon SF / ASML PAS | 80 ㎼ | 4.4~5.0 MHz | 6, 9mm |
| PINOVA EL | NIKON S207 / S307 | 65 ㎼ | >5.8 MHz | 6mm |
| PINOVA Z | Hitachi CD-SEM | 500 ㎼ | 2.2~2.4 MHz | 6mm |
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